Полный текст
Российские ученые МФТИ разработали и подготовили к серийному производству принтер сухой аэрозольной печати, который позволяет быстро и относительно дешево изготавливать компоненты микроэлектроники из наночастиц без использования растворителей, жидких чернил и связующих веществНовая технология предназначена для создания пассивных элементов микроэлектроники, микродатчиков и каталитических структурГлавное преимущество подхода, по словам разработчиков, — отсутствие загрязнений, которые обычно возникают при печати с использованием жидких чернил и могут ухудшать свойства конечного устройстваВ отличие от традиционной фотолитографии, новый метод не требует дорогих чистых комнат, вакуумных установок и агрессивной химии, а также снижает расход материаловЭто может заметно удешевить производство электроники в будущемПринцип работы принтера основан на формировании наночастиц прямо в процессе печати с помощью электрического газового разрядаЗатем частицы направляются на подложку сфокусированным аэрозольным пучкомИсследователям удалось подобрать режимы, при которых наночастицы не слипаются, а образуют структуры нужного размера и формы, после чего могут быть спечены лазеромПо словам ученых, устройство создает наночастицы размером 5–15 нанометров, которые затем используются для формирования дорожек и других элементов чиповПервые испытания показали, что полученные таким способом проводники по характеристикам сопоставимы с кристаллами серебра, что делает технологию перспективной для широкого круга задачКроме того, метод позволяет создавать наноантенны, сенсоры, пористые материалы для газовых датчиков и индуктивные элементыСозданный в МФТИ принтер уже прошел государственные приемочные испытания и готовится к запуску в серийное производство