Пост 17415

В России разработали линейку робототехнических комплексов для выявления дефектов при изготовлении микросхемОборудование позволяет выявить брак на разных этапах производства и на различных технологических линиях. Минимальный размер дефектов может составлять 3 микронаПри этом скорость проверки достигает 1 кв. см в секундуВ основе программного обеспечения комплекса нейросети, обученные более чем на 6 тыс. изображенийВозможности машинного обучения позволяют адаптировать оборудование для проверки новых типов устройствсреди брака, который выявляют роботы, могут быть такие дефекты, как трещины, царапины или сколы, которые образовались из-за нарушений производственного процесса, а также непропечатанные фрагменты, перекосы, неоднородности, обрывы дорожек, пыль и остатки химикатовПри этом размеры тестируемых изделий могут составлять от 0,1 мм до 300 ммВ настоящий момент семейство роботов включает три вида оборудованияПервый тип приборов сканирует чипы, уложенные на палету — подложку, на которой в специальных ячейках может быть размещено до нескольких сотен микроэлектронных компонентовПри этом манипулятор перемещается последовательно, позволяя сенсорам подробно изучить каждое изделиеВторой тип автоматических инспекторов предназначен для контроля кремниевых пластинОни имеют форму диска, поэтому сканирующее устройство робота движется по кругуПри этом аппарат может изменять угол обзора, что важно для выявления микротрещин, неравномерного травления или загрязнений на отполированной зеркальной поверхности пластинЭта технология особенно востребована при изготовлении фотонных интегральных схемВ них вместо электрических сигналов для передачи и обработки информации используют свет (фотоны)Поэтому даже нанометровые отклонения могут нарушить работу оптических каналов и исказить сигналСамые совершенные из представленной линейки — это конвейерные установки, где проверка чипов организована по принципу непрерывного потокаВ такой системе робототехнический комплекс сразу сортирует изделия по категориям дефектов — годные остаются на ленте, дефектные отправляются на доработку, а бракованные изымаются из производстваПо словам специалиста, в настоящее время роботы-инспекторы проходят этап опытной эксплуатации в составе производственных линий на ряде отечественных предприятийПри этом, по отзывам специалистов, российский комплекс по своему функционалу превосходит аналоги от мировых лидеров — японской MEK Marantz Electronics, южнокорейской Koh Young Technology и китайской Jutze Intelligence Technology Co.