Полный текст
"Инжиниринговый химико-технологический центр" (ИХТЦ) начал производство двух разработанных в Томском государственном университете (ТГУ) химических веществ, необходимых для развития отечественной микроэлектроникиТак, ИХТЦ запустил производство особо чистого бромистого водорода и тетракис(диметиламино)титанаПланируется, что ИХТЦ сможет закрыть основные потребности в этих двух продуктах у российских предприятий, занимающихся выпуском компонентов для микроэлектроникиБромистый водород применяется для очистки поверхности кремниевых пластин, служащих основой для интегральных микросхем. Ранее бромистый водород поставлялся в Россию зарубежными компаниями, но после введения санкций поставки были прекращены. За 2023-2024 год химики ТГУ разработали отечественную технологию выпуска и очистки с использованием только российских реагентов, что обеспечивает технологическую независимость производстваВ конце 2024 года технология была успешно внедрена на площадке малотоннажной химии ИХТЦПервые партии продукта уже прошли промышленные испытания на базе отечественных предприятий, занимающихся выпуском компонентов для микроэлектронных устройств и системВторая технология предназначена для синтеза соединения тетракис(диметиламино)титана, широко известного как TDMATЭтот предшественник титана необходим для создания сложных электронных устройствОн используется для химического осаждения пленок нитрида титана из газовой фазыTDMAT необходим при производстве полупроводников, помимо этого, в нем заинтересованы и другие отрасли, например, производители изотопов, оптики, конструкционных покрытий и композиционных материаловПервые партии TDMAT уже отправлены российским предприятиямКак сообщалось, Минпромторг РФ, ТГУ и ИХТЦ договорились о совместной разработке стратегии развития химической промышленности в России до 2035 годаРазрабатываемый документ включит в себя не только описание текущего положения дел в отрасли, но и все возможные перспективы и направления ее развития, а также механизмы необходимых изменений на государственном уровне