Полный текст
В Петербурге создали новый способ получения нанотрубок для микроэлектроники"Оказалось, что в процессе синтеза пленок карбида кремния данным методом образуются не только высокосовершенные слои карбида кремния, покрывающие сверху кремниевую подложку, но формируются массивы нанотрубок под ее поверхностью, глубоко, на несколько микрон, проникающие в глубь подложки", - пояснил руководитель лаборатории ИПМаш РАН Сергей Кукушкин.⚡️В результате открываются широкие перспективы по более дешевому получению массивов SiC-нанотрубок, которые могут быть использованы для ряда приборных приложений, например, для различных газовых сенсоров и датчиков. Подпишитесь на Электричку